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本文のはじまりです

真空ポンプ

主な用途
半導体製造プロセス
FPD製造プロセス
太陽電池製造プロセス
画像 / TDP
シリーズ カタログ ポンプ形式 排気速度(l/min) 到達圧力(Pa)
TDP PDF スクリュー式ドライ真空ポンプ 1000 to 9000 to 0.13
  • 備考マイコン制御タイプ
TD PDF スクリュー式ドライ真空ポンプ 650 to 3000 to 0.7
  • 備考シーケンサ制御タイプ
RMC PDF メカニカルブースター 3500 to 20000 to 0.1
BEH PDF スクリュー式ドライ真空ポンプ 7000 to 30000 to 0.08
TRIC   スクリュー式ドライ真空ポンプ 30000 to 60000 to 0.08

主な用途
研究所・実験室用真空ポンプ
画像 / TDA
シリーズ カタログ ポンプ形式 排気速度(l/min) 到達圧力(Pa)
TDA PDF スクリュー式ドライ真空ポンプ 150 to 700 to 1.0
  • 備考空冷式

主な用途
医薬品製造プロセス
化学品製造プロセス
単結晶引き上げプロセス
画像 / MDP
シリーズ カタログ ポンプ形式 排気速度(l/min) 到達圧力(Pa)
MDP PDF スクリュー式ドライ真空ポンプ 1100 to 35000 to 0.7
SLT PDF スクリュー式ドライ真空ポンプ 1100 to 3000 to 0.7
MDS PDF スクリュー式ドライ真空ポンプ 1800 to 6000 to 30
  • 備考接ガス部:ステンレス製
TRDS   スクリュー式ドライ真空ポンプ to 35000 to 0.7
  • 備考メカニカルブースター装備式

主な用途
真空洗浄機用真空ポンプ
吸着用真空ポンプ
画像 / SDV
シリーズ カタログ ポンプ形式 排気速度(l/min) 到達圧力(Pa)
SDV PDF スクリュー式ドライ真空ポンプ 500 to 11500 to 10
  • 備考空気専用
SDF PDF スクリュー式ドライ真空ポンプ 500 to 850 to 30
  • 備考空気専用/空冷式

  • 注記1:本表は、各シリーズのシリーズ内における公称値の範囲を示したものです。詳細の型式選定などは、当社営業窓口まで御問合せを御願いします。
  • 注記2:本表以外にも、製作対応可能な機種を数多く取り揃えておりますので、当社営業窓口まで御相談を御願いします。
  • 注記3:本表に掲載した製品は、性能向上のため予告なしに寸法、及び、仕様などを変更することがありますので御了承を御願いします。

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大晃機械工業は真空ポンプ・ドライポンプ・ドライ真空ポンプ等の設計・製造・販売を行っています。