产品信息

真空泵

主要用途

  • 半导体制造工程
  • FPD制造工程
  • 太阳能电池制造工程
系列 泵类型 抽速 (ℓ/min) 真空度 (Pa) 目录
TD 螺杆干式真空泵 650 to 3000 to 0.7 PDF
[备考] 定序器控制型
BEH 螺杆干式真空泵 7000 to 30000 to 0.08 PDF
TRIC 螺杆干式真空泵 30000 to 60000 to 0.08

主要用途

  • 医药品制造工程
  • 化学品制造工程
  • 单晶上拉工程
系列 泵类型 抽速 (ℓ/min) 真空度 (Pa) 目录
MDP-V 螺杆干式真空泵 5500 to 22000 to 0.5 PDF
[备考] 节能型产品
MDP 螺杆干式真空泵 1100 to 35000 to 0.7 PDF
SLT 螺杆干式真空泵 1100 to 3000 to 0.7 PDF
TRDS 螺杆干式真空泵 to 35000 to 0.7
[备考] 带机械式助力器式

主要用途

  • 真空洗净机用真空泵
  • 吸着用真空泵
系列 泵类型 抽速 (ℓ/min) 真空度 (Pa) 目录
SDV 螺杆干式真空泵 500 to 11500 to 20 PDF
[备考] 空气专用
SDF 螺杆干式真空泵 500 to 850 to 30 PDF
[备考] 空气专用/空冷式

* 本表所表示的数值为各系列的系列内额定值范围。在选择详细类型等时,请和我公司营业接待处联系。
* 除本表所记产品外,还有许多可进行生产的机种,请和我公司营业接待处联系洽谈。
* 本表所记载产品,其尺寸,规格等有可能因提高产品性能而不经预告进行变更,敬请谅解。