真空泵

采用独特的螺杆形状的划时代干泵，以螺杆式实现世界上最低速的运行。螺杆式的特点是通过在从进气到排气的非接触状态下进行单级压缩，有效排出伴随空气、气体等的粉尘和雾气等。作为具有高度可靠性的泵用于半导体、液晶、太阳能电池、医药、化工等各种真空应用中。

真空泵是什么？

真空泵的一种，安装在泵壳内的螺杆将流体引导到啮合间隙中，通过旋转，使流体沿轴方向连续移动。
本公司的真空泵采用蜂王式螺杆。
此真空泵为干式，会形成清洁的真空，不会引起回油。

将转子之间的间隙最小化，由于紧密啮合，所以泄漏量小。钩爪状容易排出异物。

低转速且高效率

体积小，很难排出混入的异物。

排气路径短，只有一个通道通向排气，最大程度地减少气体搅拌和粉末堵塞，并可有效地排出伴随的物质（粉末等）。

很少发生粉末锁定，故障率低

由于排气路径复杂，并且在每个室进行分阶段压缩，因此有可能因为粉末而锁定，在各个阶段也可能会发生堵塞。
冷凝气体排放也需要在每个室进行。

由于是逐渐连续压缩，
因此能够以较小的功率运行。

排气温度低，动力节能。

由于在最后阶段进行压缩，因此是在最后一个旋槽进行大部分的施压。

表面处理是用来减小螺杆的摩擦系数并提高泵内部的耐腐蚀性。

涂抹母材表面的方法

浸入电镀液中形成金属被膜的方法

用净化气体施加压力，防止壳体内部流体侵入侧壳体内

从壳体侧面引入以冷却转子，并稀释腐蚀性气体。

从泵的进气口引入，以清洁泵的内部。