真空ポンプ

独自のスクリュー形状を採用した画期的なドライポンプで、
スクリュー式において世界最低速運転を実現しています。
スクリュー式は、吸気から排気までを非接触状態で単段圧縮を行うことにより、空気やガスなどの気体に同伴するパウダー分やミスト分などを効率良く排気する特徴を有しており、半導体、液晶、太陽電池、医薬、ケミカル業界などの幅広い真空用途で高信頼性のポンプとして採用されています。

真空ポンプとは

真空ポンプの作動原理

ポンプケーシング内に装備された
スクリューにより、噛み合った隙間に流体を導き、回転させることで、軸⽅向に流体を連続移動する真空ポンプの⼀種である。

当社の真空ポンプは、
クインビー式スクリューを採⽤している。

ドライ式で、オイルバックを起こさない
クリーンな真空を形成する。

真空ポンプの作動原理 イメージ

スクリューロータ

真空ポンプのロータ形状⽐較

Queen Bee Screw (⼤晃真空ポンプ)

Queen Bee Screw (⼤晃真空ポンプ) イメージ

ロータ相互の隙間を最⼩限に出来、密に噛み合うので、漏れ量が少ない。
かぎ⽖形状で異物を出しやすい。

低回転で⾼効率

⾓形ネジスクリュー

⾓形ネジスクリュー イメージ

容積が⼩さく、混⼊した異物を混⼊を排出しにくい。

真空ポンプの構造比較

Queen Bee Screw (⼤晃真空ポンプ)

Queen Bee Screw (⼤晃真空ポンプ) イメージ

排気経路が短く、排気までのルートが1パスであり、ガスの攪拌や粉体の詰りを最⼩限に抑え、同伴物(粉体等)を効率よく排気出来る。

粉体ロックが少なく、故障率が最⼩

多段ルーツ・クロー式インペラ

多段ルーツ・クロー式インペラ イメージ

排気経路が複雑で、各部屋で段階的に圧縮する為、粉体によるロック、各ステージで詰まる可能性あり。
凝縮性のガス排出も各部屋ごとに⾏う必要がある。

Queen Bee Screwの特⻑

  • 1異物によるロックやつまりが少ない
  • 2低回転、低騒⾳、低振動
  • 3クインビー側とテーパ側のスクリュー形状を変えることで
    スクリュー同⼠の隙間が狭く、リーク量が少ない
  • 4使⽤するガスが液化しにくい
  • 5使⽤するガスが昇華しにくい
  • 6使⽤するガスが固着しにくい
  • 7⻑期使⽤による能⼒低下が僅少
  • 8ecoVPロータは⾼効率、クーリングパージ不要で省エネ。

真空ポンプのスクリューの種類

1ecoVPロータ

徐々に連続圧縮する為、
少ない動⼒で運転できる。

ecoVPロータ イメージ
排気温度が低く、動⼒も省エネ。

2等ピッチスクリュー

最終段に圧縮する為、仕事量の
多くは最後のリードにかかる。

等ピッチスクリュー イメージ

真空ポンプの表⾯処理

表⾯処理

表⾯処理とは、スクリューの摩擦係数低減やポンプ内部の耐⾷性を向上させる⽬的で施⼯する。

1二硫化モリブデン系耐熱性樹脂コーティング

⺟材の表⾯を塗装する⽅法

二硫化モリブデン系耐熱性樹脂コーティング イメージ

2無電解メッキ

メッキ液に浸漬し、⾦属⽪膜を形成する⽅法

無電解メッキ イメージ

表⾯処理の種類

表面処理の分類 二硫化モリブデン系耐熱性樹脂コーティング 無電解メッキ
表面処理の種類 標準コーティング 耐食性
有機バインダ含有
無電解ニッケルメッキ 多層膜
無電解ニッケルメッキ
フッ素樹脂微粒子含有
無電解ニッケルメッキ
耐熱性
耐食性 △(撥水性◎)
摩擦係数 低い 低い やや高い やや高い 低い
工期 短い 短い 長い 長い 長い
価格 安い 安い やや高い 高い 高い

真空ポンプのパージ種類

シールパージ

パージガスで圧⼒をかけ、ケーシング内部の流体がサイドケース内に侵⼊することを防⽌する

  • サイドケース(A) イメージ

    サイドケース(A)

  • 駆動側 イメージ

    駆動側

  • サイドケース(B) イメージ

    サイドケース(B)

  • 反駆動側 イメージ

    反駆動側

クーリングパージ

ロータの冷却、腐⾷性ガスの希釈を⽬的としてケーシング側⾯より導⼊。

クーリングパージ イメージ

クリーニングパージ

ポンプ内部のクリーニングを⽬的としてポンプ吸気⼝より導⼊。

クリーニングパージ イメージ

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