| 真空乾燥 | 真空（または減圧）下で乾燥する方法です。気圧が下がると空気中の水蒸気分圧が下がり、水分の沸点が低下し蒸発速度が加速され、対象物の乾燥を速めることができます。 |
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| 真空凍結乾燥 | 食品や薬品等、熱に弱い物質を凍結させて真空中で昇華させることにより、常温で長期保存が可能となり、水分を加えることによって元の状態に戻すことができるので、広く利用されています。 |
| 真空蒸留 | 圧力が下がると沸点も下がるという現象を生かした蒸留方法で、加熱すると熱分解されてしまう物質や，大気圧下では蒸留が困難な物質の分離・精製に広く利用されています。 |
| 真空脱泡 | 樹脂液等を攪拌する際の気泡混入を防止するために真空下で攪拌することにより気泡を除去して高品質な製品を作ることができます。（真空攪拌機、押出機等） |
| 真空滅菌 | 真空中で滅菌処理する装置で、高圧蒸気、プラズマ、超音波等を使う方式があります。 |
| ガス回収 | VOCガスを真空蒸留しながら分離させる装置やガスボンベの残ガスを回収する為に使用されています。 |
| PSA装置 | PSA（Pressure Swing Adsorption：圧力変動吸着）装置は、吸着剤のガスに対する吸着特性の違いを利用して、加圧と減圧の操作を交互に繰り返しながら、目的とするガスを連続的に分離します。 |
| Si単結晶引上炉 | チョクラルスキー法（CZ法）によってシリコン単結晶インゴットを引き上げる際、炉の上部からアルゴンガスを導入して真空ポンプで吸引しSiOガスを排除する目的で使用されます。 |
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