| 形式 | 口径 吸気／排気 |
最大排気速度 （ℓ/min） |
到達真空度 （Pa） |
電動機定格 （kW） |
最小動力 （kW） |
希釈ガス量 （ℓ/min） |
潤滑油量 （ℓ） |
冷却水量 （ℓ/min） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| MDP-680V | 65A／50A | 6500 | 1.0 | 11 | 7.8 | ライトプロセス：0 標準：25 ハードプロセス：200 |
3.0 | 6 |
| 5500 | 2.0 | 7.5 | 6.7 | |||||
| MDP-1015V | 100A／65A | 12000 | 1.0 | 22 | 16.8 | ライトプロセス：0 標準：50 ハードプロセス：400 |
3.5 | 12 |
| 10000 | 2.0 | 18.5 | 15.0 | |||||
| MDP-1225V | 125A／80A | 22000 | 0.5 | 37 | 18.3 | ライトプロセス：0 標準：100 ハードプロセス：400 |
3.5 | 15 |
| 18000 | 1.0 | 30 | 16.7 |
【注1】希釈ガス量は、お客様の仕様により流量調整が必要となります。
【注2】MDP-Vシリーズを海外で使用される場合は、弊社へ事前相談してください。
| 形式 | L（mm） | LB（mm） | ML（mm） | W（mm） | WB（mm） | MW（mm） | H（mm） | 概算質量 （kg） |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| MDP-680V | 1600 | 1300 | 180 | 1040 | 615 | 200 | 905 | 640 |
| MDP-1015V | 1890 | 1550 | 200 | 1180 | 765 | 190 | 1020 | 1230 |
| MDP-1225V | 1980 | 1680 | 190 | 1420 | 970 | 170 | 1256 | 1780 |
【注】概算質量にはモーター質量が含まれています。
| 接ガス部 | 標準 | 耐食仕様（Z） | 耐食仕様（C） |
|---|---|---|---|
| ケース | FCD450+特殊コーティング | FCD450+無電解Niメッキ | FCD450+クリーンエス |
| ロータシャフト | FCD450+特殊コーティング | FCD450+無電解Niメッキ | FCD450+クリーンエス |
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