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真空ポンプ
独自のスクリュー形状を採用
スクリュー式において世界最低速運転を実現
独自のスクリュー形状を採用した画期的なドライポンプで、スクリュー式において世界最低速運転を実現しています。
スクリュー式は、吸気から排気までを非接触状態で単段圧縮を行うことにより、空気やガスなどの気体に同伴するパウダー分やミスト分などを効率良く排気する特徴を有しており、半導体、液晶、太陽電池、医薬、ケミカル業界などの幅広い真空用途で高信頼性のポンプとして採用されています。
- 排気速度 500-60000L/min
- 到達圧力 〜0.08Pa
真空ポンプの仕組み
ポンプケーシング内に装備されたスクリューにより、噛み合った隙間に流体を導き、回転させることで軸方向に流体を連続移動させる真空ポンプです。
大晃機械工業の真空ポンプはクインビー式スクリュー（Queen Bee Screw）を採用しており、ドライ式でオイルバックを起こさないクリーンな真空を形成します。
独自技術：Queen Bee Screw
ロータ相互の隙間を最小限にでき、密に噛み合うので漏れ量が少ない。かぎ爪形状で異物を出しやすく、低回転で高効率。排気経路が短く、排気までのルートが1パスのため、ガスの攪拌や粉体の詰りを最小限に抑え、同伴物（粉体等）を効率よく排気出来ます。
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低回転で⾼効率
粉体ロックが少なく、故障率が最⼩
特長
- 異物によるロックや詰まりが少ない
- スクリュー同士の隙間が狭くリーク量が少ない
- 長期使用による能力低下が僅少
- 低回転・低騒音・低振動
- 使用ガスが液化・昇華・固着しにくい
Queen Bee Screwと他方式の比較
| Queen Bee Screw（大晃真空ポンプ） | 他方式 | |
| ロータ形状 | 隙間を最小限に抑え漏れ量が少ない／かぎ爪形状で異物を排出しやすい／低回転・高効率 | 角形ネジスクリュー： 容積が小さく、混入した異物を排出しにくい |
| 構造・排気経路 | 排気経路が短い1パス構造で粉体ロックが少なく故障率が最小 | 多段ルーツ・クロー式インペラ： 排気経路が複雑で各室ごとに段階圧縮するため粉体ロック・詰まりが起きやすい。凝縮性ガスは各室ごとの排出が必要 |
スクリューの種類
ecoVPロータ
徐々に連続圧縮する為、少ない動⼒で運転できる。
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排気温度が低く、動⼒も省エネ。
等ピッチスクリュー
最終段に圧縮する為、仕事量の多くは最後のリードにかかる。
対応用途
半導体・液晶・電池産業
- 薄膜形成装置
薄膜の形成・加工を行う、最も多用される真空装置 - エッチング装置
薬液や反応ガスで薄膜を化学腐食・蝕刻加工。 - アッシング装置
フォトレジストを加熱・燃焼し除去する装置。 - コーターデベロッパー
感光剤の塗布・現像後、溶剤を減圧乾燥。 - リチウムイオン電池
セル形成や電極乾燥など各工程で真空を利用。
化学・医薬産業
- 真空乾燥
減圧により沸点を下げ、乾燥時間を短縮。 - 真空凍結乾燥
凍結後に真空で昇華させ、長期保存を実現。 - 真空蒸留
減圧で沸点を下げ、熱に弱い物質を分離・精製。 - 真空脱泡
真空下で撹拌し気泡を除去、品質を向上。 - 真空滅菌
真空中で蒸気やプラズマ等により滅菌。 - ガス回収
VOCガスや残留ガスを分離・回収。 - PSA装置
加減圧を繰り返し目的ガスを連続抽出。 - Si単結晶引上炉
CZ法での引き上げ時にSiOガスを吸引排除。
自動車・電子部品産業
- 真空洗浄
減圧下での超音波洗浄・乾燥工程に使用。 - 真空熱処理炉
真空中で加熱・冷却し、酸化のない仕上げに。
その他産業
- 真空成形
樹脂シートを真空で型に密着させ成形。 - 真空包装
包装内を脱気し、酸化や変質を防止。 - 真空含侵
固体内部の隙間に液体を浸み込ませる技術。 - 真空搬送／多目的真空源
差圧を利用し物体を吸着・搬送。
技術詳細
表⾯処理
表⾯処理とは、スクリューの摩擦係数低減やポンプ内部の耐⾷性を向上させる⽬的で施⼯します。
1) 二硫化モリブデン系耐熱性樹脂コーティング
⺟材の表⾯を塗装する⽅法
| 表面処理 の種類 | 標準 コーティング | 耐食性 有機バインダ含有 |
| 耐熱性 | ◎ | △ |
| 耐食性 | △ | ◯ |
| 摩擦係数 | 低い | 低い |
| 工期 | 短い | 短い |
| 価格 | 安い | 安い |
2) 無電解メッキ
メッキ液に浸漬し、⾦属⽪膜を形成する⽅法
| 表面処理 の種類 | 無電解ニッケルメッキ | 多層膜無電解ニッケルメッキ | フッ素樹脂微粒子含有無電解ニッケルメッキ |
| 耐熱性 | ◯ | ◯ | △ |
| 耐食性 | ◯ | ◎ | △（撥水性◎） |
| 摩擦係数 | やや高い | やや高い | 低い |
| 工期 | 長い | 長い | 長い |
| 価格 | やや高い | 高い | 高い |
パージ種類
シールパージ
パージガスで圧⼒をかけ、ケーシング内部の流体がサイドケース内に侵⼊することを防⽌する。
クーリングパージ
ロータの冷却、腐⾷性ガスの希釈を⽬的としてケーシング側⾯より導⼊。
クリーニングパージ
ポンプ内部のクリーニングを⽬的としてポンプ吸気⼝より導⼊。
真空ポンプ
- ※ 本表は各シリーズの公称値の範囲を示したものです。詳細の型式選定などは当社営業窓口までお問い合わせください。
- ※ 本表以外にも製作対応可能な機種を多数取り揃えております。
- ※ 本表に掲載した製品は、性能向上のため予告なしに寸法・仕様などを変更することがあります。