BEHシリーズ

メカニカルブースタポンプとドライポンプを搭載した
パッケージ仕様ドライポンプ（マイコン制御）

形式	口径吸気／排気	排気速度（ℓ/min）	到達真空度（Pa）	電動機定格（kW）	潤滑油量（ℓ）	冷却水量（ℓ/min）
BEH-300	NW50／NW40	5000	0.13	1.5+3.7	3.3	2
BEH-300	NW50／NW40	4500	0.13	1.5+3.7	3.3	2
BEH-600	NW50／NW40	10000	0.13	1.5+3.7	3.3	2
BEH-600	NW50／NW40	9000	0.13	1.5+3.7	3.3	2
BEH-1200	ISO100／NW50	20000	0.08	3.7+5.5	4.7	4
BEH-1200	ISO100／NW50	19000	0.08	3.7+5.5	4.7	4
BEH-1800	ISO160／NW50	30000	0.08	5.5+5.5	4.7	4
BEH-1800	ISO160／NW50	25000	0.08	5.5+5.5	4.7	4
BEH-3000	ISO160／NW50	50000	0.08	5.5+11	5.3	6
BEH-3000	ISO160／NW50	48000	0.08	5.5+11	5.3	6
BEH-3600	ISO160／NW50	60000	0.08	5.5+23	5.9	12
BEH-3600	ISO160／NW50	55000	0.08	5.5+23	5.9	12

【注】排気速度の上段は60Hz、下段は50Hzの数値です。

形式	L（mm）	W（mm）	H（mm）
BEH-300	974	385	883
BEH-600	974	385	883
BEH-1200	1113	482	1126
BEH-1800	1108	482	1161
BEH-3000	1416	575	1302
BEH-3600	1720	680	1372