製品情報

真空ポンプ

主な用途

  • 半導体製造プロセス
  • FPD製造プロセス
  • 太陽電池製造プロセス
シリーズ ポンプ形式 排気速度(ℓ/min) 到達圧力(Pa) カタログ
TD スクリュー式ドライ真空ポンプ 650 to 3000 to 0.7 PDF
【備考】シーケンサ制御タイプ
BEH スクリュー式ドライ真空ポンプ 7000 to 30000 to 0.08 PDF
TRIC スクリュー式ドライ真空ポンプ 30000 to 60000 to 0.08

主な用途

  • 半導体製造プロセス
  • 研究所・実験室用真空ポンプ
シリーズ ポンプ形式 排気速度(ℓ/min) 到達圧力(Pa) カタログ
TDA スクリュー式ドライ真空ポンプ 700 to 1.0
【備考】空冷式

主な用途

  • 医薬品製造プロセス
  • 化学品製造プロセス
  • 単結晶引き上げプロセス
シリーズ ポンプ形式 排気速度(ℓ/min) 到達圧力(Pa) カタログ
MDP-V スクリュー式ドライ真空ポンプ 5500 to 22000 to 0.5 PDF
【備考】省エネ仕様
MDP スクリュー式ドライ真空ポンプ 1100 to 35000 to 0.7 PDF
SLT スクリュー式ドライ真空ポンプ 1100 to 3000 to 0.7 PDF
TRDS スクリュー式ドライ真空ポンプ to 35000 to 0.7
【備考】メカニカルブースター装備式

主な用途

  • 真空洗浄機用真空ポンプ
  • 吸着用真空ポンプ
シリーズ ポンプ形式 排気速度(ℓ/min) 到達圧力(Pa) カタログ
SDV スクリュー式ドライ真空ポンプ 500 to 11500 to 20 PDF
【備考】空気専用
SDF スクリュー式ドライ真空ポンプ 500 to 850 to 30 PDF
【備考】空気専用/空冷式

※本表は、各シリーズのシリーズ内における公称値の範囲を示したものです。詳細の型式選定などは、当社営業窓口までお問い合わせをお願いします。
※本表以外にも、製作対応可能な機種を数多く取り揃えておりますので、当社営業窓口までご相談をお願いします。
※本表に掲載した製品は、性能向上のため予告なしに寸法、及び、仕様などを変更することがありますのでご了承をお願いします。